SZ51和SZ61顯微鏡配有內(nèi)置防靜電保護裝置，可生成具有優(yōu)異景深、清晰、細致、顏色逼真的圖像。其可靠、高性能的光學部件是保證準確觀測結果的核心。
小型設計和光學性能并存
實現(xiàn)了小型機體的格里諾（Greenough）光學系統(tǒng)
搭載了格里諾（Greenough）光學系統(tǒng)，同時實現(xiàn)了大范圍的變焦比和清晰的觀察影像。靈活運用了格里諾光學系統(tǒng)的特性，機體線條流暢而小巧。能在生產(chǎn)流水線發(fā)揮威力的同時，也適合與設備組裝使用。
V字形光路使物鏡的形狀能設計成細長形，也適合與設備組裝使用。工作性能優(yōu)越的小型機體誕生了。
實現(xiàn)了高度平直度和較深的焦點深度
內(nèi)向角的格里諾光學設計，使高度平直度和較深的焦點深度能同時實現(xiàn)。能從前面到內(nèi)部正確對焦凹凸很大的樣品，得到充滿立體感的觀察圖像。
實現(xiàn)了忠實于樣品的觀察影像
自然的色彩再現(xiàn)功能，能夠觀察到樣品原來的顏色。影像平面彎曲的控制，能更為逼真的觀察到樣品的形狀。此外，變焦比為6.7（0.67倍～4.5倍）［SZ61］,5（0.8倍～4倍）［SZ51］，性能優(yōu)越。
對應ESD，防止器件受到靜電影響
機體和主要附件涂以防靜電材料，能夠快速去除靜電。這樣就能夠防止靜電破壞樣品。
根據(jù)用途選擇機體
除了標準型號的SZ61/51以外，我們還準備了適合安裝數(shù)碼照相機的三目鏡筒型號（SZ61TR），和適合設備加載的俯角60°型號（SZ61/51-60）。
標準型 (SZ61/SZ51)
三目鏡筒型 (SZ61TR)
設備加載型 (SZ61/SZ51-60)
多樣化的照明單元
LED照明底座組合
開發(fā)了使用LED的透射照明底座。薄型設計降低了樣品的位置，發(fā)揮了優(yōu)異的操作性能。此外，透射、外延的切換可以通過旋轉(zhuǎn)輕松操作。
雙分支互鎖導光管高亮度反射照明裝置組合
使用雙分支互鎖導光管可以將光線投向樣品的兩側(cè)，能自由地調(diào)節(jié)位置和角度。如果使用聚光透鏡，則能夠容易的進行點照明，從而確保高倍率觀察時的充分亮度。
同軸光反射照明裝置組合
能夠觀察在偏斜反射照明中無法觀察的樣品，是SZ61專用的照明裝置。
白色LED照明裝置組合
實現(xiàn)了高性價比的高亮度連續(xù)調(diào)光，是熱影響小、壽命長的環(huán)形照明裝置。
多種附件支持各種觀察方法
備有各種通用支架
SZ2-ST組合
SZ2-STU2組合
SZ2-STU3組合
使用數(shù)碼照相機記錄和保存數(shù)碼影像
三目鏡筒可以安裝數(shù)碼照相機?？梢员４婧陀涗洈?shù)碼影像，幫助創(chuàng)建觀察報告?？梢罁?jù)用途從圖像質(zhì)量、功能、使用方便性等方面選擇數(shù)碼照相機。
]]>
SZX16研究級系統(tǒng)體視顯微鏡
SZX16研究級系統(tǒng)立體顯微鏡是根據(jù)檢測應用的需求設計的，0.7x – 11.5x，變倍比可達16.4倍，分辨率可達900 LP/mm。能夠滿足廣泛的研究需求。
優(yōu)越光學性能帶來的鮮明觀察影像
SZX16: 16.4:1的變倍比,0.7X-11.5X連續(xù)和有級變倍
高分辨率效應力物鏡,多款倍率選擇
明場,偏光,熒光系統(tǒng)配套
環(huán)形LED,100W鹵素光源等多種光源
實驗室配備機型
技術規(guī)格
| 光學系統(tǒng) | 伽利略光學系統(tǒng) | |||||
| 總放大［率］ | 2.1x～690x※1 | |||||
| 變倍體 | 變焦比 | 16.4（0.7x～11.5x） | ||||
| AS | 內(nèi)置 | |||||
| 觀察筒 | 雙目/三目/傾斜三目觀察筒 | |||||
| 對焦單元 | 對焦裝置/粗調(diào)微調(diào)對焦裝置/重負載用粗調(diào)微調(diào)對焦裝置/電動對焦裝置 | |||||
| 物鏡 | 倍率 | 種類 | N.A. | W.D.（mm） | 觀察倍率※2 | 觀察范圍（mm）※2 |
| 0.3x | 平面半消色差透鏡 | 0.045 | 141 | 2.1x～34.5x | φ104.8～φ6.4 | |
| 0.5x | 平場復消色差透鏡 | 0.075 | 70.5 | 3.5x～57.5x | φ62.9～φ3.8 | |
| 0.8x | 平場復消色差透鏡 | 0.12 | 81 | 5.6x～92x | φ39.3～φ2.4 | |
| 1x | 平場復消色差透鏡 | 0.15 | 60 | 7x～115x | φ31.4～φ1.9 | |
| 1.6x | 平場復消色差透鏡 | 0.24 | 30 | 11.2x～184x | φ19.6～φ1.2 | |
| 2x | 平場復消色差透鏡 | 0.3 | 20 | 14x～230x | φ15.7～φ1 | |
| 外形尺寸 | 285（W）×335（D）×403（H）mm | |||||
| 重量 | 7 kg（標準組合） | |||||
| 備注 | ※1 物鏡與目鏡組合時的倍率范圍 | |||||
| ※2 使用目鏡10x時 | ||||||
]]>
SZX10研究級系統(tǒng)立體視顯微鏡
SZX10是可再現(xiàn)樣品自然顏色和形貌的應用領域較為廣泛的系統(tǒng)體視顯微鏡。寬范圍的變倍比（10倍），工作距離81mm，開口數(shù)0.1（采用1倍物鏡時）。可提供高光學性能和舒服的操作環(huán)境。
SZX10: 10:1的變倍比,0.63X-6.3X連續(xù)和有級變倍
高分辨率效應力物鏡,多款倍率選擇
明場,偏光,熒光系統(tǒng)配套
環(huán)形LED,100W鹵素光源等多種光源
技術規(guī)格
| 光學系統(tǒng) | 伽利略光學系統(tǒng) | |||||
| 總放大［率］ | 3.15x～378x※1 | |||||
| 變倍體 | 變焦比 | 10（0.63x～6.3x） | ||||
| AS | 內(nèi)置 | |||||
| 觀察筒 | 雙目/三目/傾斜三目觀察筒 | |||||
| 對焦單元 | 對焦裝置/粗調(diào)微調(diào)對焦裝置/重負載用粗調(diào)微調(diào)對焦裝置/電動對焦裝置 | |||||
| 物鏡 | 倍率 | 種類 | N.A. | W.D.（mm） | 觀察倍率※2 | 觀察范圍（mm）※2 |
| 0.5x | 平場消色差透鏡 | 0.05 | 171 | 3.2x～31.5x | φ69.8～φ7 | |
| 0.75x | 平場消色差透鏡 | 0.075 | 116 | 4.7x～47.3x | φ46.6～φ4.7 | |
| 1x | 平場復消色差透鏡 | 0.1 | 81 | 6.3x～63x | φ34.9～φ3.5 | |
| 消色差透鏡 | 0.1 | 90 | 6.3x～63x | φ34.9～φ3.5 | ||
| 1.25x | 平場復消色差透鏡 | 0.125 | 60 | 7.9x～78.9x | φ27.9～φ2.8 | |
| 消色差透鏡 | 0.125 | 68 | 7.9x～78.9x | φ27.9～φ2.8 | ||
| 1.5x | 平場消色差透鏡 | 0.15 | 45.5 | 9.5x～94.5x | φ23.3～φ2.3 | |
| 2x | 平場消色差透鏡 | 0.2 | 33.5 | 12.6x～126x | φ17.5～φ1.7 | |
| 外形尺寸 | 285（W）×335（D）×400（H）mm | |||||
| 重量 | 7 kg（標準組合） | |||||
| 備注 | ※1 物鏡與目鏡組合時的倍率范圍 | |||||
| ※2 使用目鏡10x時 | ||||||
]]>
SZX7體視顯微鏡，價格適中、操作簡便，并配有7:1變焦率功能和內(nèi)置防靜電保護裝置，采用了先進的伽利略光學系統(tǒng)，可生成優(yōu)異的高畫質(zhì)圖像。
優(yōu)異的可視性和豐富的擴展性能
人體工程學設計
多樣化的照明單元
通用的支架和數(shù)碼成像
技術規(guī)格
|
|||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
]]>
易于使用，具有基本功能
僅需一套系統(tǒng)即可同時應對初步檢驗和微米級分析
- 減少觀察過程中的反復嘗試，提高檢驗速度 使用一臺儀器即可進行初步的宏觀分析
- 和詳細的微觀分析
為您的分析選擇超好的鏡頭
- 我們的全套物鏡系列共包含 17 種物鏡，可在各種放大倍率下獲得豐富的圖像
- 工作距離長，可降低碰撞樣品的幾率
- 一個物鏡兼具高分辨率和長工作距離
可信的測量結果
- 遠心光學系統(tǒng)，提供有保證的準確度，確保獲得高精度的測量結果
DSX1000 系列數(shù)碼顯微鏡相對傳統(tǒng)數(shù)碼顯微鏡的 5 大優(yōu)勢
01
放大倍數(shù)范圍寬、集多功能于一體的系統(tǒng)
采用 DSX1000 數(shù)碼顯微鏡：
僅需一套易用的系統(tǒng)即可完成檢驗
采用傳統(tǒng)數(shù)碼顯微鏡：
需要兩臺顯微鏡完成檢驗，一臺放大倍數(shù)低，一臺放大倍數(shù)高
02
在高放大倍率下生成高分辨率圖像
采用 DSX1000 數(shù)碼顯微鏡：
單個物鏡具有高分辨率和長工作距離
采用傳統(tǒng)數(shù)碼顯微鏡：
分辨率隨著放大倍率增加而降低
03
長工作距離的物鏡
采用 DSX1000 數(shù)碼顯微鏡：
觀察不規(guī)則的樣品而避免撞到它們
采用傳統(tǒng)數(shù)碼顯微鏡：
物鏡會撞到樣品，可能造成損壞
04
一鍵式多種觀察方法切換
采用 DSX1000 數(shù)碼顯微鏡：
可在任何放大倍率下使用所有 6 種觀察方法
采用傳統(tǒng)數(shù)碼顯微鏡：
只提供一或兩種觀察方法，限制了對樣品的觀察
05
有保證的準確度
采用 DSX1000 數(shù)碼顯微鏡：
在所有放大倍率下均可保證準確度和重復性
采用傳統(tǒng)數(shù)碼顯微鏡：
測量準確度無法保證
DSX1000 數(shù)碼顯微鏡系列
DSX1000 從入門型至高配型的系列，可滿足您的各種觀察需求。
入門型
易于使用，具有基本功能
傾斜型
從多角度觀察您的樣品
高分辨率型
可生成高分辨率圖像以進行分析
高配置型
6 種觀察方法和測量功能
DSX1000 物鏡
我們的全套物鏡系列共包含 17 種物鏡，包括超長工作距離和高數(shù)值孔徑的豐富選擇，可在各種放大倍率下獲得豐富的圖像。
超長工作距離物鏡
在鏡頭和樣品間提供了長工作距離。
高分辨率、長工作距離物鏡
提供高分辨率和長工作距離。
高性能、高數(shù)值孔徑的物鏡
實現(xiàn)納米級高性能觀察。
超長工作距離物鏡
- 在鏡頭和樣品間提供了長工作距離
- 適用于觀察大型不規(guī)則的樣品，如模具和金屬零件
工作距離 (mm) |
放大倍率 |
視場 (μm) |
數(shù)值孔徑 |
|
| DSX10-SXLOB1X | ||||
 |
51.7 | 20 – 140X | 19,200 – 2,740 | 0.03 |
| ?*DSX10-SXLOB1X 不支持 PO（偏光）觀察 | ||||
| DSX10-SXLOB3X | ||||
 |
66.1 | 42 – 420X | 9,100 – 910 | 0.09 |
| ?*DSX10-SXLOB3X 不支持 PO（偏光）觀察 | ||||
| DSX10-SXLOB10X | ||||
 |
50.5 | 140 – 1400X | 2,740 – 270 | 0.2 |
| ?*DSX10-SXLOB10X 不支持 PO（偏光）觀察 | ||||
高分辨率、長工作距離物鏡
- 兼具高分辨率和長工作距離
- 電子電路板的理想選擇
|
工作距離 (mm) |
放大倍率 |
視場 (μm) |
數(shù)值孔徑 |
|
| DSX10-XLOB3X | ||||
 |
41.1 | 42 – 420X | 9,100 – 910 | 0.09 |
| ?*DSX10-XLOB3X 不支持 PO（偏光）觀察 | ||||
| DSX10-XLOB10X | ||||
 |
30 | 140 – 1400X | 2,740 – 270 | 0.3 |
| ? | ||||
| DSX10-XLOB20X | ||||
 |
20 | 280 – 2800X | 1,370 – 140 | 0.45 |
| ? | ||||
| DSX10-XLOB40X | ||||
 |
4.5 | 560 – 5600X | 690 – 70 | 0.8 |
| ? | ||||
高性能、高數(shù)值孔徑 (NA) 物鏡
- 實現(xiàn)納米級高性能觀察
- 適用于以更高分辨率觀察樣品，如半導體 和晶片
|
工作距離 (mm) |
放大倍率 |
視場 (μm) |
數(shù)值孔徑 |
|
| MPLFLN1.25X | ||||
 |
3.5 | 23 – 175X | 17,100 – 2,190 | 0.04 |
| ?*MPLFN1.25X only supports BF and OBQ observation | ||||
| MPLFLN2.5X | ||||
 |
10.7 | 38 – 350X | 10,200 – 1,100 | 0.08 |
| ?*MPLFN2.5X only supports BF and OBQ observation | ||||
| MPLFLN5XBDP | ||||
 |
12 | 70 – 700X | 5,480 – 550 | 0.15 |
| MPLFLN10XBDP | ||||
 |
6.5 | 140 – 1400X | 2,740 – 270 | 0.25 |
| MPLFLN20XBDP | ||||
 |
3 | 280 – 2800X | 1,370 -140 | 0.4 |
| MPLFLN50XBDP | ||||
 |
1 | 700 – 7000X | 292 – 37 | 0.75 |
| MPLAPON50X | ||||
 |
0.35 | 700 – 7000X | 550 – 55 | 0.95 |
| ?*MPLAPON50X 不支持暗場和 MIX 觀察 | ||||
| LMPLFLN10XBD | ||||
 |
10 | 140 – 1550 – 55400X | 2,740- 270 | 0.25 |
| LMPLFLN20XBD | ||||
 |
12 | 280 – 2800X | 1,370- 140 | 0.4 |
| LMPLFLN50XBD | ||||
 |
10.6 | 700 – 7000X | 550 – 55 | 0.5 |
DSX1000 數(shù)碼顯微鏡 – 傾斜型
從多角度觀察您的樣品
查看整張圖片：20X 至 7000X 放大倍率范圍
- 單擊即可無縫切換放大倍率，進行從宏觀分析到細節(jié)的觀察
- 提供多功能、大景深、高分辨率、長工作距離的多種類物鏡，支持更多的分析檢驗工作
- 當您傾斜變焦頭部時，光學器件保持視場不變，可從多個角度觀察您的樣品
快速切換節(jié)省時間
- 快速、輕松地改變放大倍率
- 只需單擊即可改變觀察和照明方法
- 可在任何放大倍率下使用所有觀察方法
易于使用的操控手柄
- 轉(zhuǎn)動旋鈕即可進行樣品的光學縮放 單擊即可輕松捕獲 2D 或 3D 圖像，
- 或者移動 XY載物臺
- 按下按鈕即可在 6 種不同觀察方法間切換
DSX1000 系列數(shù)碼顯微鏡相對傳統(tǒng)數(shù)碼顯微鏡的 5 大優(yōu)勢
01
放大倍數(shù)范圍寬、集多功能于一體的系統(tǒng)
采用 DSX1000 數(shù)碼顯微鏡：
僅需一套易用的系統(tǒng)即可完成檢驗
采用傳統(tǒng)數(shù)碼顯微鏡：
需要兩臺顯微鏡完成檢驗，一臺放大倍數(shù)低，一臺放大倍數(shù)高
02
在高放大倍率下生成高分辨率圖像
采用 DSX1000 數(shù)碼顯微鏡：
單個物鏡具有高分辨率和長工作距離
采用傳統(tǒng)數(shù)碼顯微鏡：
分辨率隨著放大倍率增加而降低
03
長工作距離的物鏡
采用 DSX1000 數(shù)碼顯微鏡：
觀察不規(guī)則的樣品而避免撞到它們
采用傳統(tǒng)數(shù)碼顯微鏡：
物鏡會撞到樣品，可能造成損壞
04
一鍵式多種觀察方法切換
采用 DSX1000 數(shù)碼顯微鏡：
可在任何放大倍率下使用所有 6 種觀察方法
采用傳統(tǒng)數(shù)碼顯微鏡：
只提供一或兩種觀察方法，限制了對樣品的觀察
05
有保證的準確度
采用 DSX1000 數(shù)碼顯微鏡：
在所有放大倍率下均可保證準確度和重復性
采用傳統(tǒng)數(shù)碼顯微鏡：
測量準確度無法保證
DSX1000 數(shù)碼顯微鏡系列
DSX1000 從入門型至高配置型的系列，可滿足您的各種觀察需求。
入門型
易于使用，具有基本功能
傾斜型
從多角度觀察您的樣品
高分辨率型
可生成高分辨率圖像以進行分析
高配置型
6 種觀察方法和測量功能
DSX1000 物鏡
我們的全套物鏡系列共包含 17 種物鏡，包括超長工作距離和高數(shù)值孔徑的豐富選擇，可在各種放大倍率下獲得豐富的圖像。
超長工作距離物鏡
在鏡頭和樣品間提供了長工作距離。
高分辨率、長工作距離物鏡
提供高分辨率和長工作距離。
高性能、高數(shù)值孔徑的物鏡
實現(xiàn)納米級高性能觀察。
超長工作距離物鏡
- 在鏡頭和樣品間提供了長工作距離
- 適用于觀察大型不規(guī)則的樣品，如模具和金屬零件
|
工作距離 (mm) |
放大倍率 |
視場 (μm) |
數(shù)值孔徑 |
|
| DSX10-SXLOB1X | ||||
|
51.7 | 20 – 140X | 19,200 – 2,740 | 0.03 |
| ?*DSX10-SXLOB1X 不支持 PO（偏光）觀察 | ||||
| DSX10-SXLOB3X | ||||
|
66.1 | 42 – 420X | 9,100 – 910 | 0.09 |
| ?*DSX10-SXLOB3X 不支持 PO（偏光）觀察 | ||||
| DSX10-SXLOB10X | ||||
|
50.5 | 140 – 1400X | 2,740 – 270 | 0.2 |
| ?*DSX10-SXLOB10X 不支持 PO（偏光）觀察 | ||||
高分辨率、長工作距離物鏡
- 兼具高分辨率和長工作距離
- 電子電路板的理想選擇
|
工作距離 (mm) |
放大倍率 |
視場 (μm) |
數(shù)值孔徑 |
|
| DSX10-XLOB3X | ||||
|
41.1 | 42 – 420X | 9,100 – 910 | 0.09 |
| ?*DSX10-XLOB3X 不支持 PO（偏光）觀察 | ||||
| DSX10-XLOB10X | ||||
|
30 | 140 – 1400X | 2,740 – 270 | 0.3 |
| ? | ||||
| DSX10-XLOB20X | ||||
|
20 | 280 – 2800X | 1,370 – 140 | 0.45 |
| ? | ||||
| DSX10-XLOB40X | ||||
|
4.5 | 560 – 5600X | 690 – 70 | 0.8 |
| ? | ||||
高性能、高數(shù)值孔徑 (NA) 物鏡
- 實現(xiàn)納米級高性能觀察
- 適用于以更高分辨率觀察樣品，如半導體 和晶片
|
工作距離 (mm) |
放大倍率 |
視場 (μm) |
數(shù)值孔徑 |
|
| MPLFLN1.25X | ||||
|
3.5 | 23 – 175X | 17,100 – 2,190 | 0.04 |
| ?*MPLFN1.25X only supports BF and OBQ observation | ||||
| MPLFLN2.5X | ||||
|
10.7 | 38 – 350X | 10,200 – 1,100 | 0.08 |
| ?*MPLFN2.5X only supports BF and OBQ observation | ||||
| MPLFLN5XBDP | ||||
|
12 | 70 – 700X | 5,480 – 550 | 0.15 |
| MPLFLN10XBDP | ||||
|
6.5 | 140 – 1400X | 2,740 – 270 | 0.25 |
| MPLFLN20XBDP | ||||
|
3 | 280 – 2800X | 1,370 -140 | 0.4 |
| MPLFLN50XBDP | ||||
|
1 | 700 – 7000X | 292 – 37 | 0.75 |
| MPLAPON50X | ||||
|
0.35 | 700 – 7000X | 550 – 55 | 0.95 |
| ?*MPLAPON50X 不支持暗場和 MIX 觀察 | ||||
| LMPLFLN10XBD | ||||
|
10 | 140 – 1550 – 55400X | 2,740- 270 | 0.25 |
| LMPLFLN20XBD | ||||
|
12 | 280 – 2800X | 1,370- 140 | 0.4 |
| LMPLFLN50XBD | ||||
|
10.6 | 700 – 7000X | 550 – 55 | 0.5 |
DSX1000 數(shù)碼顯微鏡-高配置型
6 種觀察方法和測量功能
高速捕獲高分辨率 3D 圖像
- 憑借顯微鏡的優(yōu)化算法，按下按鈕即可快速獲取 3D 圖像 改進的拼接算法，提供無明顯邊界的清晰圖像
始終了解您的角度
- 通過顯微鏡的編碼硬件，您可實時跟蹤圖像的傾斜和旋轉(zhuǎn)角度信息
- 在載物臺被轉(zhuǎn)動后移動載物臺，無需接觸樣品
用多功能操控手柄進行快速分析
- 易于使用的多功能操控手柄幫助您快速完成
- 輕松一按即可捕獲 2D/3D 圖像，或者移動 XY載物臺
有保證的*準確度，確保可信的觀察結果
- 在所有放大倍率下，準確度和重復性均可得到保證*?自動校準可減少測量波動
- 進行現(xiàn)場校準，從而在您的工作環(huán)境中獲得優(yōu)良性能
*為了保證 XY 準確度，需由奧林巴斯的服務技術人員負責校準工作。
DSX1000 系列數(shù)碼顯微鏡相對傳統(tǒng)數(shù)碼顯微鏡的 5 大優(yōu)勢
01
放大倍數(shù)范圍寬、集多功能于一體的系統(tǒng)
采用 DSX1000 數(shù)碼顯微鏡：
僅需一套易用的系統(tǒng)即可完成檢驗
采用傳統(tǒng)數(shù)碼顯微鏡：
需要兩臺顯微鏡完成檢驗，一臺放大倍數(shù)低，一臺放大倍數(shù)高
02
在高放大倍率下生成高分辨率圖像
采用 DSX1000 數(shù)碼顯微鏡：
單個物鏡具有高分辨率和長工作距離
采用傳統(tǒng)數(shù)碼顯微鏡：
分辨率隨著放大倍率增加而降低
03
長工作距離的物鏡
采用 DSX1000 數(shù)碼顯微鏡：
觀察不規(guī)則的樣品而避免撞到它們
采用傳統(tǒng)數(shù)碼顯微鏡：
物鏡會撞到樣品，可能造成損壞
04
一鍵式多種觀察方法切換
采用 DSX1000 數(shù)碼顯微鏡：
可在任何放大倍率下使用所有 6 種觀察方法
采用傳統(tǒng)數(shù)碼顯微鏡：
只提供一或兩種觀察方法，限制了對樣品的觀察
05
有保證的準確度
采用 DSX1000 數(shù)碼顯微鏡：
在所有放大倍率下均可保證準確度和重復性
采用傳統(tǒng)數(shù)碼顯微鏡：
測量準確度無法保證
DSX1000 數(shù)碼顯微鏡系列
DSX1000 從入門型至高配置型的系列，可滿足您的各種觀察需求。
入門型
易于使用，具有基本功能
傾斜型
從多角度觀察您的樣品
高分辨率型
可生成高分辨率圖像以進行分析
高配置型
6 種觀察方法和測量功能
DSX1000 物鏡
我們的全套物鏡系列共包含 17 種物鏡，包括超長工作距離和高數(shù)值孔徑的豐富選擇，可在各種放大倍率下獲得豐富的圖像。
超長工作距離物鏡
在鏡頭和樣品間提供了長工作距離。
高分辨率、長工作距離物鏡
提供高分辨率和長工作距離。
高性能、高數(shù)值孔徑的物鏡
實現(xiàn)納米級高性能觀察。
超長工作距離物鏡
- 在鏡頭和樣品間提供了長工作距離
- 適用于觀察大型不規(guī)則的樣品，如模具和金屬零件
|
工作距離 (mm) |
放大倍率 |
視場 (μm) |
數(shù)值孔徑 |
|
| DSX10-SXLOB1X | ||||
|
51.7 | 20 – 140X | 19,200 – 2,740 | 0.03 |
| ?*DSX10-SXLOB1X 不支持 PO（偏光）觀察 | ||||
| DSX10-SXLOB3X | ||||
|
66.1 | 42 – 420X | 9,100 – 910 | 0.09 |
| ?*DSX10-SXLOB3X 不支持 PO（偏光）觀察 | ||||
| DSX10-SXLOB10X | ||||
|
50.5 | 140 – 1400X | 2,740 – 270 | 0.2 |
| ?*DSX10-SXLOB10X 不支持 PO（偏光）觀察 | ||||
高分辨率、長工作距離物鏡
- 兼具高分辨率和長工作距離
- 電子電路板的理想選擇
|
工作距離 (mm) |
放大倍率 |
視場 (μm) |
數(shù)值孔徑 |
|
| DSX10-XLOB3X | ||||
|
41.1 | 42 – 420X | 9,100 – 910 | 0.09 |
| ?*DSX10-XLOB3X 不支持 PO（偏光）觀察 | ||||
| DSX10-XLOB10X | ||||
|
30 | 140 – 1400X | 2,740 – 270 | 0.3 |
| ? | ||||
| DSX10-XLOB20X | ||||
|
20 | 280 – 2800X | 1,370 – 140 | 0.45 |
| ? | ||||
| DSX10-XLOB40X | ||||
|
4.5 | 560 – 5600X | 690 – 70 | 0.8 |
| ? | ||||
高性能、高數(shù)值孔徑 (NA) 物鏡
- 實現(xiàn)納米級高性能觀察
- 適用于以更高分辨率觀察樣品，如半導體 和晶片
|
工作距離 (mm) |
放大倍率 |
視場 (μm) |
數(shù)值孔徑 |
|
| MPLFLN1.25X | ||||
|
3.5 | 23 – 175X | 17,100 – 2,190 | 0.04 |
| ?*MPLFN1.25X only supports BF and OBQ observation | ||||
| MPLFLN2.5X | ||||
|
10.7 | 38 – 350X | 10,200 – 1,100 | 0.08 |
| ?*MPLFN2.5X only supports BF and OBQ observation | ||||
| MPLFLN5XBDP | ||||
|
12 | 70 – 700X | 5,480 – 550 | 0.15 |
| MPLFLN10XBDP | ||||
|
6.5 | 140 – 1400X | 2,740 – 270 | 0.25 |
| MPLFLN20XBDP | ||||
|
3 | 280 – 2800X | 1,370 -140 | 0.4 |
| MPLFLN50XBDP | ||||
|
1 | 700 – 7000X | 292 – 37 | 0.75 |
| MPLAPON50X | ||||
|
0.35 | 700 – 7000X | 550 – 55 | 0.95 |
| ?*MPLAPON50X 不支持暗場和 MIX 觀察 | ||||
| LMPLFLN10XBD | ||||
|
10 | 140 – 1550 – 55400X | 2,740- 270 | 0.25 |
| LMPLFLN20XBD | ||||
|
12 | 280 – 2800X | 1,370- 140 | 0.4 |
| LMPLFLN50XBD | ||||
|
10.6 | 700 – 7000X | 550 – 55 | 0.5 |
]]>
明晰的顯微觀察 便捷的顯微操作
為工業(yè)和材料學應用而設計
BX53M系列采用了模塊化設計，為廣泛的材料學和工業(yè)應用提供了多樣化的解決方案。BX53根據(jù)工業(yè)和材料學的不同應用，可以組合成反射顯微鏡、透反射顯微鏡、紅外顯微鏡、偏光顯微鏡等多種應用的顯微鏡。
用戶友好性
簡單的、向?qū)降娘@微鏡操作設置，使用戶更容易進行調(diào)節(jié)，并復制系統(tǒng)設置。
功能性
BX53MM為傳統(tǒng)的工業(yè)顯微鏡檢查而設計，并擴展了其功能，以滿足更廣泛的應用和檢查技術的要求。
光學元件
奧林巴斯公司具有生產(chǎn)高質(zhì)量光學元件的悠久歷史，無論用目鏡觀察，還是通過顯示器觀察，都具備很好的圖像畫質(zhì)。
可定制性
模塊化設計可以為用戶靈活地構建滿足其特殊要求的系統(tǒng)。
直觀的顯微鏡控制便于使用
顯微檢查任務常常需要用很長的時間來調(diào)節(jié)顯微鏡設置、獲取圖像，以及進行必要的測量，從而得到令人滿意的報告。用戶有時需要投入時間和精力去完成專業(yè)的顯微鏡培訓，或只了解了顯微鏡全部功能的很小部分就開展工作。
BX53M通過其優(yōu)良的設計和便捷的控制功能，簡化了復雜的顯微檢查任務。用戶不需要長時間的培訓即可掌握顯微鏡的大多數(shù)功能。BX3M方便的操作還改善了圖像的再現(xiàn)性，很大程度減少了人為錯誤。
編碼硬件：很容易恢復顯微鏡設置
BX53M采用了新的編碼功能，將顯微鏡的硬件設置與奧林巴斯Stream圖像分析軟件整合在一起。觀察方法、照明強度和物鏡位置全都記錄在軟件和/或手動控制器里。編碼功能使顯微鏡設置能夠與每幅圖像一起自動保存，從而使此后還原設置，以及為報表提供文檔記錄更加方便。既節(jié)省了操作者的時間，又可減小了使用不正確設置的概率。當前的觀察設置總是清晰地顯示在手動控制器和軟件上。
智能光強管理：一致的照明
在初始安裝時，可以調(diào)節(jié)照明強度，使其與編碼照明器和/或編碼物鏡轉(zhuǎn)換器的特定硬件配置匹配。
方便而人性化的操作
人性化對所有用戶都至關重要。無論是單機顯微鏡用戶，還是集成了奧林巴斯Stream圖像分析軟件的顯微鏡系統(tǒng)用戶，都能得益于可以清晰顯示顯微鏡編碼型硬件位置的、人性化操作的手動控制器。簡單的手動開關，使用戶能夠把時間專注于樣品本身和所需實施的檢查。
MIX組合式觀察：讓以往看不見的圖像顯示出來
BX53M的MIX組合式觀察技術組合了明場和暗場照明方法。對突出顯示缺陷和區(qū)分隆起與凹陷表面很有用處。
即時拼圖（MIA）：輕松移動載物臺，可進行全景攝影
現(xiàn)在僅僅移動手動載物臺上的XY旋鈕即可方便而快捷地拼接圖像，不再需要電動載物臺。
奧林巴斯Stream軟件采用圖案識別技術來生成全景圖像，為用戶提供了比單一畫面更寬的視野。
輕松實現(xiàn)超景深圖像（EFI）題
奧林巴斯Stream軟件的景深擴展成像（EFI）功能能夠獲取高度超過物鏡焦深的樣品圖像，并把它們疊加在一起，創(chuàng)建出一幅超景深圖像?？梢允褂檬謩踊螂妱覼軸機構來執(zhí)行EFI，并創(chuàng)建一幅高度圖，以輕松地識別結構。也可以用Stream桌面版在離線時創(chuàng)建EFI圖像。
光學技術的悠久歷史
奧林巴斯公司擁有高品質(zhì)光學儀器研發(fā)的悠久歷史，創(chuàng)造了多項光學質(zhì)量的記錄，保證了顯微鏡優(yōu)異的測量精度。
LED照明
BX53M為反射光和透射光照明提供了高強度的白光LED光源。LED提供了持久而長壽命的照明，是材料學檢測應用的理想工具。
自動校準
類似于數(shù)碼顯微鏡，使用奧林巴斯Stream軟件時也能夠?qū)嵤┳詣有省Ｄ軌颢@得更可靠的測量結果。
技術規(guī)格
BX53M規(guī)格（用于反射和反射/透射光組合）
| BX53MTRF-S | BX53MRF-S | BXFM | ||
| 光學系統(tǒng) | UIS2光學系統(tǒng)（無限遠校正） | |||
| 顯微鏡機架 | 照明 | 反射/透射 | 反射 | |
| 對焦 | 行程：25 mm 每轉(zhuǎn)的微調(diào)行程：100 μm 刻度可小到：1 μm 配有上限限位器，用于粗調(diào)手柄的扭力調(diào)節(jié) |
行程：30 mm 每轉(zhuǎn)的微調(diào)行程：200 μm 刻度可小到：2 μm 配有用于粗調(diào)手柄的扭力調(diào)節(jié) |
||
| 樣品高度可到 | 35 mm (不含高度適配器) 75 mm (帶BX3M-ARMAD) |
65 mm (不含高度適配器) 105 mm (帶BX3M-ARMAD) |
取決于安裝配置 | |
| 觀察筒 | 寬視野FN22 | 倒像：雙目、三目、傾斜式雙目 正像：三目、傾斜式雙目 |
||
| 超寬視野FN26.5 | 倒像：三目 正像：三目、傾斜式三目 |
|||
| 反射光照明 | 常規(guī)觀察技術 | BX3M-RLAS-S 編碼，白光LED，BF/DF/DIC/POL/MIX FS，AS（帶對中裝置） BX3M-KMA-S 白光LED，BF/DIC/POL/MIX FS，AS（帶對中裝置） BX3M-RLA-S 100W/50W鹵素燈，白光LED，BF/DF/DIC/POL/MIX FS，AS（帶對中裝置）， BF/DF切換時中密度濾色片聯(lián)動 |
||
| – | U-KMAS 白光LED，100W鹵素燈 光纖照明，BF/DIC/POL/MIX |
|||
| 熒光 | BX3M-URAS-S 編碼，100W汞燈，4孔位分光鏡組件轉(zhuǎn)換器，（標準：WB, WG, WU+BF等) FS，AS（帶對中裝置），帶光閘裝置 |
|||
| 透射光 | 白光LED 阿貝/長工作距離聚光鏡 |
– | ||
| 物鏡轉(zhuǎn)換器 | 用于BF | 六孔，對中六孔，七孔，編碼五孔（選配電動物鏡轉(zhuǎn)換器） | ||
| 用于BF/DF | 六孔，五孔，對中五孔，編碼五孔（選配電動物鏡轉(zhuǎn)換器） | |||
| 載物臺 | 同軸左手（右手）操作載物臺： 76mm×52mm，采用扭力調(diào)節(jié) 大型同軸左手（右手）操作載物臺： 100mm×105mm，帶Y軸鎖定裝置 大型同軸右手操作載物臺： 150mm×100mm，帶扭力調(diào)節(jié)和Y軸鎖定裝置 |
– | ||
| 重量 | 大約18.3 kg （顯微鏡機架7.6 kg） |
大約15.8 kg （顯微鏡機架7.4 kg） |
大約11.1 kg （顯微鏡機架1.9 kg） |
|
BX53M規(guī)格（用于紅外觀察）
| BX53MRF-S | BXFM | ||
| IR觀察筒 | 寬視野FN22 | 倒像：三目 | |
| 反射光照明 | IR觀察 | BX3M-RLA-S IR用100W/50W鹵素燈，BF/IR，AS（帶對中裝置） BX3M-URAS-S IR用100W/50W鹵素燈，BF/IR，AS（帶對中裝置） |
|
| – | U-KMAS IR用100W/50W鹵素燈，BF/IR |
||
| 物鏡轉(zhuǎn)換器 | 用于BF | 六孔，對中六孔，七孔，編碼五孔（選配電動物鏡轉(zhuǎn)換器） | |
| Stage (X × Y) | 同軸左手（右手）操作載物臺： 76mm×52mm，采用扭力調(diào)節(jié) 大型同軸左手（右手）操作載物臺： 100mm×105mm，帶Y軸鎖定裝置 大型同軸右手操作載物臺： 150mm×100mm，帶扭力調(diào)節(jié)和 Y軸鎖定裝置 |
– | |
| 重量 | 大約18.9 kg（顯微鏡機架7.4 kg） | 大約11.6 kg（顯微鏡機架1.9 kg） | |
BX53M規(guī)格（用于偏光觀察）
| BX53MTRF-S | ||
| 偏光中間附件 （U-CPA或U-OPA） |
寬視野FN22 | 倒像：雙目、三目、傾斜式雙目 正像：三目、傾斜式雙目 |
| 勃氏鏡 | 可對焦（僅適用于U-CPA） | |
| 勃氏鏡視場光闌 | 直徑?3.4mm（固定）（僅適用于U-CPA） | |
| 切換正像鏡檢和錐光鏡檢時加入或退出勃氏鏡 | 滑塊位置 ● 進入 滑塊位置 ○ 退出 （僅適用于U-CPA） |
|
| 檢偏鏡插槽 | 旋轉(zhuǎn)式檢偏鏡插槽（U-AN360P-2） | |
| 檢偏鏡（U-AN360P-2） | 可旋轉(zhuǎn)360°的撥盤 可旋轉(zhuǎn)的角度可小到0.1° |
|
| 對中式物鏡轉(zhuǎn)換器（U-P4RE） | 四孔，附對中裝置：1/4λ偏振片(U-TAD)， 試板(U-TP530) 和各種補色器均可連接補色器適配器（U-TAD）使用。 |
|
| 載物臺（U-SRP） | 帶3點對中功能的偏光專用旋轉(zhuǎn)載物 可旋轉(zhuǎn)360°，可鎖定在任何位置，360°每刻度遞增1° （分辨率可小至6’，使用游標尺） 45°鎖定功能 可安裝移動標本夾（U-FMP） |
|
| 聚光鏡（U-POC-2） | 消色差無應力聚光鏡（U-POC-2），帶外擺式消色差頂部透鏡的可旋轉(zhuǎn)360°起偏鏡。 “0°”刻度處的鎖定機構可調(diào)節(jié)。 NA0.9（頂部鏡頭內(nèi)擺） NA0.18（頂部鏡頭外擺） 孔徑光闌：直徑從2mm到21mm可調(diào)節(jié) |
|
| 重量 | 大約16.2 kg（顯微鏡機架7.6 kg） | |
概述
OLS5000激光共焦顯微鏡可準確測量亞微米級的形貌和表面粗糙度。數(shù)據(jù)采集??比奧林巴斯以前的顯微鏡型號快四倍，從而大大提高了生產(chǎn)效率。
高分辨率，準確成像
憑借對各種類型樣品進行準確3D測量的能力，系統(tǒng)可提供用于質(zhì)量保證和工藝控制的可靠數(shù)據(jù)。
橫向分辨率
 |
405納米紫色激光和專用高數(shù)值孔徑物鏡可以捕捉到傳統(tǒng)光學顯微鏡、白光干涉儀或紅色激光顯微鏡難以發(fā)現(xiàn)的精細紋理和缺陷。 | |
 |
 |
|
| 紅光型（658納米：0.26微米空間) | 微米紫光型（405納米：0.12線和空間) | |
一致的測量值
LEXT專用物鏡可準確測量采用其他方式測量會發(fā)生畸變的周邊區(qū)域。
傳統(tǒng)物鏡
LEXT物鏡
新開發(fā)的MEMS掃描振鏡
新的MEMS掃描振鏡具有較低的掃描軌跡失真和較小的光學像差，可進行準確的X-Y掃描。
4K掃描技術
4K掃描技術可在X軸方向掃描4096像素，是奧林巴斯以前顯微鏡型號的四倍。
OLS5000顯微鏡可在無需進行圖像校正的情況下檢測幾乎垂直的陡峭斜面以及很低的臺階。
捕獲真實形貌
由于傳統(tǒng)激光顯微鏡采用諸如平滑去除噪聲等標準圖像處理技術，其有時會將準確測得的細微高度不規(guī)則測量數(shù)據(jù)連同噪聲一起去除。
OLS5000顯微鏡采用奧林巴斯自動檢測可靠數(shù)據(jù)的智能判別算法，可在不丟失細微高度不規(guī)則測量數(shù)據(jù)的情況下實現(xiàn)去確測量。
其他高分辨率測量技術
- MEMS掃描PEAK算法
- 雙共焦系統(tǒng)
- Sq噪聲（測量噪聲）保證
- 準確性和重復性均可保證
- 混合匹配算法
- 混合阻尼機構
- HDR掃描
快速采集結果：高速掃描
PEAK算法
VLSI標準80納米高度樣品(MPLFLN10XLEXT)
OLS5000顯微鏡采用了用于3D數(shù)據(jù)構建的PEAK算法。該算法可獲得從低倍率到高倍率的高精度數(shù)據(jù)，并可縮短數(shù)據(jù)采集時間。
跳躍式掃描
在不降低精度的情況下，測量700微米的臺階大約在15秒左右（使用MPLAPON20x物鏡時）。
其他提高速度的技術
- 頻帶掃描
- 1線數(shù)據(jù)采集
效率工作：簡單的操作程序
簡化測量區(qū)域
測量兩個指定區(qū)域之間的臺階高度差和距離
測量兩個指定區(qū)域之間的角度差
測量指定區(qū)域的面積/體積；自動檢測參考平面，因此無需設置閾值。
測量指定區(qū)域的表面粗糙度
通過自動檢測指定區(qū)域的邊緣測量寬度
基于指定區(qū)域中的圓形自動識別測量半徑R和距離基準平面的高度
自動圖像校正
智能判別處理可在無損數(shù)據(jù)精度的情況下自動消除測量噪聲，而智能找平功能可探測零高度位置的主水平面（參考平面）。簡單一次點擊即可啟動兩項工作。
利用模板節(jié)省時間
報告中包含的所有操作和過程均可保存為模板。
在重復進行相同測量時，使用此模板可采用同流程獲得下一組數(shù)據(jù)的分析報告。
無需操作人員干預即可指定操作流程和測量點的功能能夠以很小差異進行快速、準確的分析。
 |
 |
 |
 |
|
| 輸出報告并進行測量 | 輸出報告并保存模板 | 在下次采集過程中，打開已保存的模板 | 即刻輸出基于模板的報告 |
令系統(tǒng)更便于使用的其他技術
- 實時宏觀測圖
- 連續(xù)自動對焦
- 智能掃描II
- 宏功能
靈活：可測量尺寸較大的樣品
可測量高度可到210毫米的樣品
 |
OLS5000顯微鏡的擴展架可容納高達210毫米的樣品，而超長工作距離物鏡能夠測量深度達到25毫米的凹坑。 在進行這兩種測量時，您只需將樣品放在載物臺上即可。 |
||
 |
 |
 |
|
| 連桿 | 刀具 | 活塞頭 | |
LEXT專用長工作距離物鏡
奧林巴斯可提供能夠針對405納米激光減小像差的10x至100x系列物鏡。本系列還包括低倍率和長工作距離物鏡。所有LEXT專用物鏡均可確保測量性能，由此可以選擇適合您所觀察樣品的一款物鏡。
Rubert & Co標準粗糙度樣板528 (Pt = 1.5微米)
常規(guī)物鏡（50X）
LEXT專用物鏡（50X）
超長工作距離物鏡
我們的LEXT專用物鏡系列產(chǎn)品包括增強顯微鏡測量性能的10x物鏡和長工作距離物鏡。
應用
汽車/金屬加工
表面紋理/面粗糙度測量（MPLAPON20XLEXT / 3×3拼接）
噴油嘴(復制品)/面粗糙度測量(LMPLFLN50XLEXT)
活塞環(huán)/面粗糙度測量（MPLAPON50XLEXT）
軸承球/輪廓測量（MPLAPO50XLEXT）
材料
不銹鋼腐蝕坑/高度測量（MPLAPON20XLEXT / 3×3拼接）
銅板/面粗糙度測量（MPLAPON50XLEXT）
擴散板/輪廓測量（MPLAPON50XLEXT / 3×3拼接）
海綿/輪廓測量（MPLAPON20XLEXT / 3×3拼接）
電子元器件
鎳塊/高度測量(MPLAPON20XLEXT)
MEMS超聲換能器(MPLAPON50XLEXT)
光刻膠/高度測量（MPLAPON100XLEXT）
鍵合金線（MPLAPON100XLEXT）
其他
微針/輪廓測量（MPLAPON50XLEXT / 6×6拼接）
皮膚（復制品）/面粗糙度測量（MPLAPON20XLEXT / 5×5拼接）
由文化學園大學服裝學院功能設計實驗室提供
研磨石/輪廓測量（MPLAPON20XLEXT）
圓珠筆插座/面粗糙度測量（LMPLFLN20XLEXT）
技術規(guī)格
主機
| 型號 | OLS5000-SAF | OLS5000-SMF | OLS5000-LAF | OLS5000-EAF | OLS5000-EMF | |
| 總倍率 | 54x – 17,280x | |||||
| 視場直徑 | 16um – 5,120um | |||||
| 測量原理 | 光學系統(tǒng) | 反射式共聚焦激光掃描激光顯微鏡 | ||||
| 反射式共焦激光掃描激光-DIC顯微鏡 | ||||||
| 彩色 | ||||||
| 彩色DIC | ||||||
| 光接收元件 | 激光：光電倍增管（2ch） | |||||
| 彩色：CMOS彩色相機 | ||||||
| 高度測量 | 顯示分辨率 | 0.5nm | ||||
| Linear scale | 0.78nm | |||||
| 動態(tài)范圍 | 16 bits | |||||
| 重復性*1 *2 *6 | 10x : 0.1μm, 20x : 0.03μm, 50x : 0.012μm, 100x : 0.012μm | |||||
| 準確性*1 *3 *6 | 0.15 + L/100μm (L: Measuring length[μm]) | |||||
| 拼接圖像準確度 ?*1 *4 *6 | 10x : 5.0+L/100μm, 20x or higher : 1.0+L/100μm (L: Stitching height[μm]) | |||||
| 測量噪聲*1 *5 *6 | 1nm [Typ] | |||||
| 寬度測量 | 顯示分辨率 | 1nm | ||||
| 重復性?*1 *6 | 10x : 0.2μm, 20x：0.05μm, 50x : 0.04μm, 100x : 0.02μm | |||||
| 準確度*1 *3 *6 | 測量值 +/- 百分之1.5 | |||||
| 拼接圖像準確度*1 *3 *6 | 10x : 24+0.5L μm, 20X 15+0.5L μm, 50X 9+0.5L μm, 100X 7+0.5L μm (L: Stitching length[mm]) | |||||
| 單次測量時測量點的數(shù)量可到 | 4096 x 4096 pixel | |||||
| 測量點的數(shù)量可到 | 36 Mpixel | |||||
| XY 載物臺配置 | 長度測量模塊 | ? | 無 | 無 | ? | 無 |
| 工作范圍 | 100 x 100mm Motorized | 100 x 100mm Manual | 300 x 300 mm Motorized | 100 x 100mm Motorized | 100 x 100mm Manual | |
| 樣品高度可到 | 100mm | 40mm | 37mm | 210mm | 150mm | |
| 激光光源 | 波長 | 405nm | ||||
| 輸出可到 | 0.95 mW | |||||
| 激光分類 | 2類 (IEC60825-1:2007, IEC60825-1:2014) | |||||
| 彩色光源 | 白光 LED | |||||
| 電氣功率 | 240 W | 240 W | 278 W | 240 W | 240 W | |
| 質(zhì)量 | 顯微鏡主體 | 約31 kg | 約?32 kg | 約?50 kg | 約43 kg約 | ?44 kg |
| 控制箱 | 約12 kg | |||||
* 1 在ISO554(1976)、JIS Z-8703(1983)規(guī)定的恒溫恒濕環(huán)境下使用時提供保證（溫度：20?C±1?C, 濕度:50％±1％）。
* 2 在使用MPLAPON LEXT 系列物鏡測量時超過20次。
* 3 在使用LEXT專用物鏡測量時。
* 4 在使用MPLAPON100XLEXT 物鏡測量時的典型值。
* 5 基于奧林巴斯認證體系保證。
物鏡技術規(guī)格
| 系列 | 型號 | 數(shù)值孔徑（NA） | 工作距離（WD）（毫米） |
| UIS2物鏡 | MPLFLN2.5x | 0.08 | 10.7 |
| MPLFLN5x | 0.15 | 20 | |
| LEXT專用物鏡（10X） | MPLFLN10xLEXT | 0.3 | 10.4 |
| MPLAPON20xLEXT | 0.6 | 1 | |
| LEXT專用物鏡（高性能型) | MPLAPON50xLEXT | 0.95 | 0.35 |
| MPLAPON100xLEXT | 0.95 | 0.35 | |
| LMPLFLN20xLEXT | 0.45 | 6.5 | |
| LEXT專用物鏡（長工作距離型） | LMPLFLN50xLEXT | 0.6 | 5 |
| LMPLFLN100xLEXT | 0.8 | 3.4 | |
| SLMPLN20x | 0.25 | 25 | |
| 超長工作距離物鏡 | SLMPLN50x | 0.35 | 18 |
| SLMPLN100x | 0.6 | 7.6 | |
| LCPLFLN20xLCD | 0.45 | 8.3-7.4 | |
| 適用于LCD透鏡的長工作距離 | LCPLFLN50xLCD | 0.7 | 3.0-2.2 |
| LCPLFLN100xLCD | 0.85 | 1.2-0.9 |
應用軟件
| 標準軟件 | OLS50-BSW | 數(shù)據(jù)采集app 分析app (簡單分析) |
| 電動載物臺套裝應用*1 | OLS50-S-MSP | |
| 擴展分析應用*2 | OLS50-S-AA | |
| 薄膜厚度測量 | OLS50-S-FT | |
| 自動邊緣測量應用 | OLS50-S-ED | |
| 顆粒物分析應用 | OLS50-S-PA | |
| 多文件分析應用 | OLS50-S-MA | |
| 球體/圓柱體表面角度分析應用 | OLS50-S-SA | |
* 1包括自動拼接數(shù)據(jù)采集和多區(qū)域數(shù)據(jù)采集功能。
* 2包括輪廓分析、差值分析、臺階高度分析、表面分析、面積/體積分析、線粗糙度分析、面粗糙度分析和直方圖分析。
產(chǎn)品系列
OLS5000-SAF配置示例
OLS5000-SAF
- 100毫米電動載物臺
- 樣品高度可到:100毫米
OLS5000-EAF
- 100毫米電動載物臺
- 樣品高度可到:210毫米
OLS5000-SMF
- 100毫米手動載物臺
- 樣品高度可到:40毫米
OLS5000-EMF
- 100毫米手動載物臺
- 樣品高度可到:150毫米
OLS5000-LAF
- 300毫米電動載物臺
- 樣品高度可到:37毫米
PC計算機和控制單元
]]>