在材料分析試驗(yàn)中我們經(jīng)常會(huì)用到掃描電鏡和金相顯微鏡，這兩種設(shè)備在使用中有何不同？天縱檢測（SKYALBS）這里總結(jié)了部分資料，分享給大家。

金相顯微鏡(metallurgical microscope)是用入射照明來觀察金屬試樣表面(金相組織)的顯微鏡，它是將光學(xué)顯微鏡技術(shù)、光電轉(zhuǎn)換技術(shù)、計(jì)算機(jī)圖像處理技術(shù)結(jié)合在一起而開發(fā)研制成的高科技產(chǎn)品，可以在計(jì)算機(jī)上很方便地觀察金相圖像，從而對(duì)金相圖譜進(jìn)行分析，評(píng)級(jí)等以及對(duì)圖片進(jìn)行輸出、打印。

掃描電鏡（SEM）是介于透射電鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種微觀形貌觀察手段，可直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能進(jìn)行微觀成像。主要是利用二次電子信號(hào)成像來觀察樣品的表面形態(tài)，即用很狹窄的電子束去掃描樣品，通過電子束與樣品的相互作用產(chǎn)生各種效應(yīng)，其中主要是樣品的二次電子發(fā)射。二次電子能夠產(chǎn)生樣品表面放大的形貌像，這個(gè)像是在樣品被掃描時(shí)按時(shí)序建立起來的，即使用逐點(diǎn)成像的方法獲得放大像。

兩種顯微鏡存的區(qū)別，主要有以下幾方面：

一、光源不同：金相顯微鏡采用可見光作為光源，掃描電鏡采用電子束作為光源成像。

二、原理不同：金相顯微鏡利用幾何光學(xué)成像原理進(jìn)行成像，掃描電鏡利用高能量電子束轟擊樣品表面，激發(fā)出樣品表面的各種物理信號(hào)，再利用不同的信號(hào)探測器接受物理信號(hào)轉(zhuǎn)換成圖像信息。

三、分辨率不同：金相顯微鏡因?yàn)楣獾母缮媾c衍射作用，分辨率只能局限于0.2-0.5um之間。掃描電鏡因?yàn)椴捎秒娮邮鳛楣庠?，其分辨率可達(dá)到1-3nm之間，因此金相顯微鏡的組織觀察屬于微米級(jí)分析，掃描電鏡的組織觀測屬于納米級(jí)分析。

四、景深不同：一般金相顯微鏡的景深在2-3um之間，因此對(duì)樣品的表面光滑程度具有很高的要求，所以其的制樣過程相對(duì)比較復(fù)雜。而掃描電鏡則有很大的景深，視野大，成像富有立體感，可直接觀察各種試樣凹凸不平表面的細(xì)微結(jié)構(gòu)。

總的說來，光學(xué)顯微鏡主要用于光滑表面的微米級(jí)組織觀察與測量，因?yàn)椴捎每梢姽庾鳛楣庠匆虼瞬粌H能觀察樣品表層組織而且在表層以下的一定范圍內(nèi)的組織同樣也可被觀察到，并且光學(xué)顯微鏡對(duì)于色彩的識(shí)別非常敏感和準(zhǔn)確。電子顯微鏡主要用于納米級(jí)的樣品表面形貌觀測，因?yàn)閽呙桦婄R是依靠物理信號(hào)的強(qiáng)度來區(qū)分組織信息的，因此掃描電鏡的圖像都是黑白的，對(duì)于彩色圖像的識(shí)別掃描電鏡顯得無能為力。但掃描電鏡不僅可以觀察樣品表面的組織形貌，還可以通過使用能譜分析儀等附件設(shè)備，用于元素的定性和定量分析，可用做分析樣品微區(qū)的化學(xué)成分等信息。